เป้าหมายไทเทเนียมบริสุทธิ์ Planar

การสปัตเตอร์เป็นหนึ่งในเทคนิคหลักในการเตรียมวัสดุที่เป็นฟิล์มบางใช้ไอออนที่เกิดจากแหล่งกำเนิดไอออนเพื่อเร่งและรวมตัวในสุญญากาศเพื่อสร้างลำไอออนพลังงานความเร็วสูง ทิ้งระเบิดที่พื้นผิวแข็ง และแลกเปลี่ยนพลังงานจลน์ระหว่างไอออนกับอะตอมของพื้นผิวที่เป็นของแข็งอะตอมบนพื้นผิวที่เป็นของแข็งออกจากของแข็งและสะสมอยู่บนพื้นผิวของสารตั้งต้นของแข็งที่ถูกทิ้งระเบิดเป็นวัตถุดิบในการเตรียมฟิล์มบางที่สะสมโดยวิธีการสปัตเตอร์ ซึ่งเรียกว่าเป้าหมายการสปัตเตอร์